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单晶硅热场石英坩埚如何有效破碎

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工艺硅单晶熔化硅工艺资料,熔化硅生长硅单晶本技术通过在普通的直拉硅单晶炉上附加一个吹气鼓泡装置和取样勺,采用控制蒸发温度和吹气鼓泡时间,可实现对硅中杂质的有效控制和随时检测,当N型杂质总浓度小于5×10

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