熔融石英坩埚的成型工艺,制备的石英陶瓷坩埚

石英陶瓷具有优异的性质,如热膨胀系数小、热稳定性好、耐高温液体侵蚀性好、导热性低等特点,成为多晶硅铸锭过程盛装多晶硅料的材料。 目前,熔融石英陶瓷坩埚的制备方法一般有两种注浆成型和注凝成型。

论文采用注凝成型制备石英陶瓷坩埚,并在料浆中掺入氮化硅,以提高其体积密度等,使坩埚物理性能接近或者优于注浆成型的石英坩埚,以便弥补注凝成型的缺陷。 在注凝成型制备熔融石英陶瓷基础上,以Si_3N_4作为添加剂,考察其对石英陶瓷的烧结特性与相变过程的影响以及Si_3N_4的特性(种类、粒度、含量等)对石英陶瓷的烧成及其结构与性能的关系。

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石英坩埚工艺

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