碳化硅微粉生产流程,废砂浆回收技术

碳化硅微粉回收的方法 一种碳化硅微粉回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多级处理，包括如下步骤：固液分离、碳化硅粒度分级、碳化硅提纯、微粉干燥、分散筛松。 同时将重力分选得到的碳化硅－金属的混合粉末进行磁力分选，获得纯的碳化硅粉末。 本发明方法可以有效地回收硅棒切割加工产生的废砂浆中的高纯硅，以及作为切割磨料的碳化硅微粉，回收效率高，是一种变废为宝，解决高纯度硅原料资源短缺问题的实用技术。